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7.NbN薄膜的制备及等离子体诊断
作者：王金刚
论文级别：硕士
学位年度：2004
8.MWECR CVD高速制备a-Si：H薄膜的工艺研究
作者：吴越颖
关键词：a-SiH ; MWECR ; CVD ; 热丝 ; 红外透射谱 ; 光敏性
论文级别：硕士
学位年度：2004
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