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3.MWECR CVD高速制备a-Si:H薄膜的工艺研究
作者:吴越颖
关键词:a-SiH ; MWECR ; CVD ; 热丝 ; 红外透射谱 ; 光敏性
论文级别:硕士
学位年度:2004
4.化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究
作者:宋雪梅
关键词:Cat-CVD ; MW-ECR ; CVD ; SiC ; a-SiH
论文级别:博士
学位年度:2003
7.MWECR CVD制备氢化非晶硅薄膜的微结构研究
作者:刘毅
论文级别:硕士
学位年度:2004
9.a-Si:H薄膜的MWECR CVD制备及特性研究
作者:宋道颖
关键词:a-SiH ; MWECR ; CVD ; 氢含量 ; 光学带隙 ; 光敏性
论文级别:硕士
学位年度:2002
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