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3.碳化硅材料的合成与表征
作者：庞巧莲
论文级别：硕士
学位年度：2010
5.SiC晶圆等离子体清洗技术的研究
作者：王晓霞
关键词：4H-SiC ; 等离子体 ; 清洗 ; RHEED ; XPS
论文级别：硕士
学位年度：2010
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