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万方学位论文(6)
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1.基于圆片封装的硅微谐振式加速度计温度特性与补偿算法研究
作者：张晶
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
2.MEMS圆片级真空封装的关键工艺研究
作者：王宇哲
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2012
3.硅微谐振式加速度计结构设计与分析
作者：陈卫卫
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2012
4.基于埋置MEMS空气隙的柔性凸点结构设计与热疲劳可靠性研究
作者：李鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：桂林电子科技大学
学位年度：2009
5.基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究
作者：李鑫
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2009
6.溶胶凝胶自蔓延法低温烧结MnZn铁氧体的研究
作者：侯军刚
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2007
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