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万方学术会议(7)万方学位论文(5)
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1.SiCl4/H2沉积多晶硅薄膜过程中电子空间特性检测
作者：祝祖送
授予学位：硕士
学位授予单位：汕头大学
学位年度：2006-01-01
2.二次离子质谱仪的原理及在半导体产业中的应用
作者：宋洁
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2008
3.V型电热硅微致动器性能及其应用研究
作者：张永宇
授予学位：博士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2006
4.微机电系统中粘附的表面效应和尺寸效应的研究
作者：马皓晨
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏大学
学位年度：2005
5.超薄介质膜热扩散率的测试研究
作者：宁金辉
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2000-06-01
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