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万方学术会议(9)万方学位论文(24)
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1.微半球谐振陀螺仪结构机理分析及加工工艺研究
作者：孔伦
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2015
2.微流道中粒子黏弹性聚焦机理研究
作者：戴卿
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2015
3.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
作者：王涛龙
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2016
4.步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者：李维佳
授予学位：硕士
学位授予单位：东华大学
学位年度：2015
5.基于线性霍尔传感器的平面三自由度微位移测量系统设计
作者：陈一鸣
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014
6.基于透射光谱反演法的亚波长光栅槽形参数测量技术研究
作者：刘麟跃
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2015
7.掩模台机械系统设计及仿真
作者：邓乐
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2011
8.基于SOI刻蚀衍射光栅的光谱仪的研究
作者：秦丽
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
9.基于金属纳米结构的光场调制方法研究
作者：朱鹏
授予学位：博士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2013
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