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1.硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准编号：GB/T 4061-2009
标准类型：国家标准
发布单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
2.金属和合金的腐蚀 大气腐蚀性 腐蚀等级的指导值
标准编号：GB/T 19292.2-2003
标准类型：国家标准
发布单位：冶金工业信息标准研究院
发布日期：2003-09-12
实施日期：2004-04-01
3.耐火材料.抗熔融冰晶石电解液侵蚀试验方法
标准编号：YB/T 4161-2007
标准类型：行业标准
发布日期：2007-03-06
实施日期：2007-09-01
4.硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
标准编号：GB/T 14142-1993
标准类型：国家标准
关键词：外延层 ; 完整 ; 晶体(电子)硅 ; 检验
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
5.不锈钢缝隙腐蚀电化学试验方法
标准编号：GB/T 13671-1992
标准类型：国家标准
发布日期：1992-09-22
实施日期：1993-07-01
6.硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准编号：GB/T 4061-1983
标准类型：国家标准
发布日期：1983-12-20
实施日期：1984-12-01
7.硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准编号：YS/T 23-1992
标准类型：行业标准
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
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