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1.锗单晶电阻率直流四探针测量方法
标准编号：GB/T 26074-2010
标准类型：国家标准
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
2.硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法
标准编号：GB/T 1552-1995
标准类型：国家标准
关键词：测量硅 ; 半导体材料 ; 电阻率锗
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
3.硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
标准编号：GB/T 14141-1993
标准类型：国家标准
关键词：硅 ; 扩散 ; 电阻测量 ; 离子 ; 外延层
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
4.硅片径向电阻率变化的测量方法
标准编号：GB/T 11073-1989
标准类型：国家标准
发布日期：1989-03-31
实施日期：1990-02-01
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