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1.高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
标准编号：GB/T 24576-2009
标准类型：国家标准
发布单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
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