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3.Chemical Vapor Deposition for Film Deposition
ContentType：Reference Work Entry
Publisher：Springer US
Author：Dongqing Li
4.Catalytic Chemical Vapor Deposition (CCVD)
ContentType：Reference Work Entry
5.Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
ContentType：Reference Work Entry
6.Physical Vapor Deposition
ContentType：Reference Work Entry
7.Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition (AACVD)
ContentType：Reference Work Entry
8.Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition (AACVD)
ContentType：Reference Work Entry
10.Atomic Layer Chemical Vapor Deposition
ContentType：Reference Work Entry
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