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1.基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究
作者：刘修振
授予学位：硕士
学位授予单位：太原理工大学
学位年度：2016
2.基于电流控制的阳极键合工艺方法及实验研究
作者：陆春意
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2015
3.基于foot-mounted的IMU室内行人航迹推算研究
作者：殷红
授予学位：硕士
学位授予单位：南昌大学
学位年度：2013
4.MEMS圆片级真空封装的关键工艺研究
作者：王宇哲
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2012
5.基于节点法的MEMS封装系统级设计
作者：孙世虎
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2011
6.基于等离子活化硅硅键合的微模具制备工艺研究
作者：卓锐
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2012
7.微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究
作者：周吴
授予学位：博士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2010
8.Ka波段RF MEMS器件人工智能建模方法
作者：杨国辉
授予学位：博士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2009
9.微惯性组合惯导系统设计与实现
作者：吴岩
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工程大学
学位年度：2010
10.一种夹爪平行移动的压电致动微夹钳的研究
作者：杨群
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2009
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