常用资源 电子图书期刊论文学位会议外文资源特色专题内部出版物 
CNKI会议论文(5)CNKI学位论文(25)知网期刊论文(73)
中图分类法(5)
数理科学和化学(1)
工业技术(5)
在“CNKI会议论文”中，命中：5条，耗时：小于0.01 秒

在所有数据库中总计命中：103条

2.光刻投影物镜热像差分析方法
会议召开时间：2016-09-25
3.高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法
论文作者：诸波尔 ; 李思坤 ; 王向朝
会议召开时间：2016-09-25
5.基于线性规划的光刻机光源优化方法
论文作者：王磊 ; 李思坤 ; 王向朝 ; 杨朝兴
会议召开时间：2016-09-25
1
按检索点细分(5)
作者(5)
按年细分(5)
2016年(5)

© 2004-2018 中国地质图书馆版权所有 京ICP备05064691号 京公网安备11010802017129号

地址：北京市海淀区学院路29号 邮编：100083

电话：办公室：(+86 10)66554848；文献借阅、咨询服务、科技查新：66554700