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1.MEMS多域耦合非线性宏建模的轨迹分段线性化方法研究
作者：刘莹
授予学位：博士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2015
2.MEMS CAD器件级宏模型获取技术
作者：闫子健
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2007
3.基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究
作者：齐东周
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2008
4.基于节点法的MEMS封装系统级设计
作者：孙世虎
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2011
5.支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究
作者：何江波
授予学位：硕士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2011
6.微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究
作者：周吴
授予学位：博士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2010
7.基于节点法的MEMS器件构造与网表映射
作者：朱英绮
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2009
8.磁微执行器分布参数模型研究
作者：方玉明
授予学位：博士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2008
9.微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化
作者：李伟剑
授予学位：博士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2004-04-01
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