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1.基于Su-8光刻胶的微透镜及阵列的研究
作者：边锐
授予学位：硕士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2015
2.基于MOEMS的微型傅里叶变换光谱仪信号解调研究
作者：刘波
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2013
3.基于数字微镜的便携式傅里叶变换光谱探测系统研究
作者：杨艺宁
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2014
4.基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
作者：赵冬伟
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2012
5.MEMS可编程光栅及其在气体监测中的应用研究
作者：安飞
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2007
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