表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定

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标准号：BS ISO 14706-2014
发布日期：2014-07-31
英文题名：Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
英文主题词：Surface chemistry ; Surface properties ; Surfaces ; Surfactants ; Chemical analysis and testing ; Contamination ; Contaminants ; Silicon ; Substrates (insulating) ; X-ray fluorescence spectrometry ; X-ray analysis ; Fluorimetry ; Reflection ; Atoms ; Density ; Epitaxial layers ; Impermeability ; Freedom from holes ; Tightness
标准状态：现行
发布单位：GB-BSI
实施日期：2014-07-31
国际标准分类号：71.040.40
载体形态：36P.;A4
中国标准分类号：H17
国别：英国标准学会

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