高真空高洁净磁悬浮复合分子泵及其控制系统的研究
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  • 作者：刘平凡
  • 学科专业：机械制造及其自动化
  • 授予学位：博士
  • 学位授予单位：哈尔滨工业大学
  • 导师姓名：富宏亚
  • 学位年度：2013
  • 关键词：chi
摘要
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