液态源MOCVD法制备热释电薄膜工艺研究
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  • 作者：王森
  • 学科专业：光学工程
  • 授予学位：硕士
  • 学位授予单位：西安工业大学
  • 导师姓名：刘卫国
  • 学位年度：2009
  • 关键词：chi
摘要
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