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条
1.
CF_4射频等离子体硅橡胶表面疏水疏油改性研究
作者:
高松华
关键词:
CF_4射频等离子体
;
硅橡胶
;
感性耦合
;
容性耦合
;
疏水疏油性能
论文级别:
博士
学位年度:2008
2.
双频容性耦合等离子体特性的发射光谱研究
作者:
黄晓江
关键词:
双频
;
容性耦合等离子体
;
发射光谱
论文级别:
博士
学位年度:2009
3.
双频容性耦合等离子体特性的实验研究
作者:
袁强华
关键词:
双频容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
质谱
论文级别:
博士
学位年度:2009
4.
ZnO微纳结构材料的实用制备方法研究
作者:
李静
关键词:
ZnO
;
微纳结构材料
;
磁控溅射
;
溶胶-凝胶
;
溶液燃烧法
论文级别:
博士
学位年度:2009
5.
铜银和氮化钛薄膜沉积过程及纳米压入变形行为的MD模拟
作者:
徐振海
关键词:
薄膜
;
MD模拟
;
微观变形行为
;
位错
;
原子沉积
;
纳米压痕
论文级别:
博士
学位年度:2012
6.
射频等离子体放电及材料处理研究
作者:
金成刚
关键词:
射频等离子体
;
离子束
;
等离子体诊断
;
等离子体与材料相互作用
;
纳米材料
论文级别:
博士
学位年度:2014
7.
无人驾驶车辆运动障碍物检测、预测和避撞方法研究
作者:
辛煜
关键词:
无人驾驶车辆
;
运动障碍物检测
;
运动障碍物预测
;
运动障碍物避撞
;
激光雷达
论文级别:
博士
学位年度:2014
8.
中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究
作者:
张以忱
关键词:
硬质复合薄膜
;
非平衡磁控溅射
;
离子束辅助沉积
;
Ti-N-C薄膜
;
DLC薄膜
论文级别:
博士
学位年度:2008
9.
微波ECRCVD制备a-C:F:H薄膜的结构与性能研究
作者:
辛煜
关键词:
微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积
;
a-C∶F∶H薄膜
;
刻蚀选择性
;
介电常数
;
热稳定性
;
多层膜
论文级别:
博士
学位年度:2002
10.
电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究
作者:
戚栋
关键词:
电弧离子镀
;
等离子体负载
;
脉冲偏压电源
;
匹配
;
电磁兼容
论文级别:
博士
学位年度:2005
1
2
3
4
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