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万方学位论文
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条
1.
硅片
检测平台的结构设计与误差测试分析
作者:
熊青
关键词:
硅片
制造
;
硅片
检测平台
;
机械结构设计
;
精密检测设备
;
垂向定位精度
;
误差测试
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2015
2.
晶体硅多线锯水基切削液的研究
作者:
陈仁芳
关键词:
金刚石
;
线锯切割
;
水基切削液
;
性能测试
授予学位:硕士
学位授予单位:天津工业大学
学位年度:2017
3.
硅片
检测运动平台动力学建模与分析
作者:
沈飞
关键词:
硅片
检测运动平台
;
滚动导轨副
;
动力学建模
;
联合仿真
;
气浮轴承
;
机电一体化
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2015
4.
硅片
切割废料回收碳化硅粉体的研究
作者:
侯思懿
关键词:
硅片
切割废料
;
碳化硅粉体
;
回收利用
;
酸碱提纯法
;
泡沫浮选法
授予学位:硕士
学位授予单位:青海大学
学位年度:2014
5.
多晶
硅片
酸蒸气刻蚀制绒技术研究
作者:
肖志刚
授予学位:博士
学位授予单位:南昌大学
学位年度:2016
6.
太阳能多晶
硅片
电解磨削多线切割加工试验研究
作者:
章恺
授予学位:硕士
学位授予单位:南京航空航天大学
学位年度:2016
7.
基于MEMS工艺的高场非对称性波形离子迁移谱仪的研究
作者:
郭大鹏
关键词:
气相痕量检测
;
高场非对称波形离子迁移谱仪
;
芯片设计
;
微机电系统工艺
授予学位:博士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2016
8.
硼掺杂工艺对微加速度计性能的影响
作者:
李伦
关键词:
微加速度计
;
硼掺杂
;
深反离子刻蚀
;
工艺误差
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
9.
不同层厚比WSx/a-C多层膜的组织结构及环境摩擦学特性
作者:
章荣
关键词:
二硫化钨
;
多层薄膜
;
层厚比
;
摩擦学特性
;
磁控溅射
;
组织结构
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江工业大学
学位年度:2016
10.
非晶合金微热压印成型及数值模拟
作者:
李俊锋
关键词:
非晶合金
;
单轴压缩
;
微热压印成型
;
微注塑模具
;
微流控芯片
;
数值模拟
授予学位:硕士
学位授予单位:郑州大学
学位年度:2016
1
2
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5
6
7
8
9
按检索点细分(96)
题名(8)
关键词(7)
中文摘要(94)
按学位年度细分(96)
2015年及以后(17)
2014年(10)
2013年(12)
2012年(13)
2011年(13)
2010年(2)
2009年(6)
2008年(3)
2007年(8)
2006年(6)
2005年(1)
2004年(2)
2003年(1)
2001年(1)
2000年(1)
按授予学位细分(96)
硕士(83)
博士(13)
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