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万方学位论文
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条
1.
基于氮化铝的压电谐振式MEMS加度计研究
作者:
王一翔
关键词:
氮化铝
;
加速度计
;
谐振器
;
工艺流程
;
有限元仿真
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2017
2.
一类双极板静电驱动微梁
谐振器
的非线性振动及其控制研究
作者:
韩建鑫
关键词:
微机电系统
;
微梁
谐振器
;
非线性振动
;
分数阶滑模控制
授予学位:博士
学位授予单位:天津大学
学位年度:2015
3.
面内扭转压电圆片
谐振器
及其在液体粘度测量中的应用
作者:
肖广军
关键词:
螺旋电极式
;
压电陶瓷
;
扭转
谐振器
;
液体粘度测量
;
振动法
;
粘度计
授予学位:硕士
学位授予单位:中国科学技术大学
学位年度:2015
4.
基于圆片封装的硅微谐振式加速度计温度特性与补偿算法研究
作者:
张晶
关键词:
圆片封装
;
硅微谐振式加速度计
;
温度特性
;
补偿算法
授予学位:硕士
学位授予单位:南京理工大学
学位年度:2016
5.
片上球形玻璃谐振密度计的制备及表征研究
作者:
张玉珍
关键词:
密度计
;
球形玻璃
谐振器
;
微流控技术
;
热发泡法
;
谐振频率
授予学位:硕士
学位授予单位:东南大学
学位年度:2015
6.
基于低温超导技术的弱光探测
作者:
周品嘉
关键词:
空间天文学
;
低温弱光探测
;
超导薄膜结构
;
超导边界转变传感器
;
超导共面波导
谐振器
;
铌膜CPW
谐振器
授予学位:博士
学位授予单位:西南交通大学
学位年度:2014
7.
基于横向场激励模式的石英晶体微天平的研究
作者:
孔婷
关键词:
石英晶体微天平
;
横向场激励
;
电极结构
;
电学特性
授予学位:硕士
学位授予单位:东南大学
学位年度:2016
8.
微纳机械系统的自旋动力学研究
作者:
李秀红
关键词:
微纳机械
谐振器
;
自旋动力学
;
腔光机械系统
;
耦合分析
授予学位:硕士
学位授予单位:吉首大学
学位年度:2014
9.
FBAR微加速度计设计
作者:
何婉婧
关键词:
微加速度计
;
声波
谐振器
;
力敏机理
;
表头结构
;
温度补偿
授予学位:硕士
学位授予单位:西南科技大学
学位年度:2015
10.
硅微谐振式加速度计闭环振荡系统稳定性研究
作者:
徐佩文
关键词:
硅微谐振
;
加速度计
;
幅度控制
;
相位噪声
授予学位:硕士
学位授予单位:南京理工大学
学位年度:2015
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