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Elsevier电子期刊(1)
在“
Elsevier电子期刊
”中,
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1
条,耗时:小于0.01 秒
在所有数据库中总计命中:
1
条
1.
Characteristics and mechanism of Al
1.3
Sb
3
Te etched by Cl
2
/BCl
3
inductively coupled plasmas
作者:
Zhonghua Zhang
;
Sannian Song
;
Zhitang Song
;
Yan Cheng
;
Cheng
Peng
;
Ling Zhang
;
Duanc
hao Cao
;
Xiaohui Guo
;
Weijun Yin
;
Liangcai Wu
;
Bo Liu
关键词:
Phase change material
;
Etching
;
Inductively coupled plasmas
刊名:Microelectronic Engineering
出版年:1 March, 2014
1
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