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Structure and morphology of Ru films grown by atomic layer deposition from 1-ethyl-1’-methyl-ruthenocene
作者:
Kaupo Kukli
;
Jaan Aarik
;
Aleks Aidla
;
Teet Uustare
;
Indrek Jõ
;
gi
;
Jun Lu
;
Massimo Tallarida
;
Marianna Kemell
;
Alma
-
Asta
Kiisler
;
Mikko Ritala
;
Markku Leskelä
关键词:
A1. Crystal morphology
;
A1. Substrates
;
A1. Roughening
;
A3. Chemical vapor deposition processes
;
A3. Atomic layer epitaxy
;
A3. Polycrystalline deposition
刊名:Journal of Crystal Growth
出版年:2010
1
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2010年(1)
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