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1.
Out-of-plane MEMS-based mechanical airflow sensor co-integrated in SOI CMOS technology
作者:
Nicolas Andr茅
;
Bertr
;
Rue
;
Gilles
Scheen
;
Denis Fl
;
re
;
Laurent A. Francis
;
Jean-Pierre Raskin
关键词:
Capacitive flow sensor
;
CMOS&ndash
;
MEMS
;
Monolithic integration
;
Microfabrication
;
Finite element simulation
;
Modeling
刊名:Sensors and Actuators A: Physical
出版年:1 February, 2014
2.
Thick macroporous silicon membranes: Influence of the masking layer on the underetching characteristics
作者:
Margherita Bassu
;
Gilles
Scheen
;
Laurent A. Francis
关键词:
Macroporous silicon
;
Patterning
;
Mask underetching
刊名:Sensors and Actuators A: Physical
出版年:2012
1
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