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在“Elsevier电子期刊”中，命中：35条，耗时：0.0109966 秒

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1.Out-of-plane MEMS-based mechanical airflow sensor co-integrated in SOI CMOS technology

作者：Nicolas Andr茅 ; Bertr ; Rue ; Gilles Scheen ; Denis Fl ; re ; Laurent A. Francis ; Jean-Pierre Raskin

关键词：Capacitive flow sensor ; CMOS&ndash ; MEMS ; Monolithic integration ; Microfabrication ; Finite element simulation ; Modeling

刊名：Sensors and Actuators A: Physical

出版年：1 February, 2014

2.Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators

作者：Danqi Zhao ; Xia Zhang ; Jun He ; Xian Huang ; Fang Yang ; Peng Liu ; Dacheng Zhang

关键词：CMOS-MEMS ; Monolithic integration ; Stress ; Hydrogen ; Resonator sensor

刊名：Sensors and Actuators A: Physical

出版年：1 November, 2013

3.A 2D MEMS grating based CMOS compatible poly-SiGe variable optical attenuator

作者：S. Rudra^a ; ^{sukumar.rudra@intec.ugent.be} ; R. Van Hoof^b ; J. De Coster^b ; G. Bryce^b ; S. Severi^b ; A. Witvrouw^b ; D. Van Thourhout^a

关键词：Micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS) ; Variable optical attenuator (VOA) ; Grating ; Monolithic integration

刊名：Microelectronic Engineering

出版年：2013

4.A MEMS electron impact ion source integrated in a microtime-of-flight mass spectrometer

作者：Charles-Marie Tassetti ; Romain Mahieu ; Jean-S¨¦bastien Danel ; Olivier Peyssonneaux ; Fr¨¦d¨¦ric Progent ; Jean-Philippe Polizzi ; Xavier Machuron-M ; ard ; Laurent Duraffourg

关键词：Ionizer ; Mass spectrometer ; MEMS

刊名：Sensors and Actuators B: Chemical

出版年：2013

5.SiGe MEMS at processing temperatures below 250 ¡ãC

作者：Joumana El-Rifai^a ; ^b ; ^c ; ^{joerifai@aucegypt.edu}Author Vitae ; Sherif Sedky^b ; ^dAuthor Vitae ; Rita Van Hoof^aAuthor Vitae ; Simone Severi^aAuthor Vitae ; Dennis Lin^aAuthor Vitae ; Sandeep Sangameswaran^a ; ^cAuthor Vitae ; Robert Puers^a ; ^cAuthor Vitae ; Chris Van Hoof^a ; ^cAuthor Vitae ; Ann Witvrouw^aAuthor Vitae

关键词：Poly-SiGe ; Laser annealing ; Capacitive devices ; Surface micromachining ; Contact resistivity ; MEMS monolithic integration

刊名：Sensors and Actuators A: Physical

出版年：2012

6.Monolithic Integration of a Micromachined Flow Sensor based on Post-CMOS

刊名：Procedia Engineering

出版年：2012

7.CMOS compatible polycrystalline silicon-germanium based pressure sensors

作者：Pilar Gonzalez^a ; ^b ; ^{Pilar.Gonzalez@imec.be} ; ^{mp.gonzalezruiz@gmail.com}Author Vitae ; Bin Guo^aAuthor Vitae ; Michal Rakowski^aAuthor Vitae ; Kristin De Meyer^a ; ^bAuthor Vitae ; Ann Witvrouw^aAuthor Vitae

关键词：Poly-SiGe ; MEMS monolithic integration ; Piezoresistivity ; Capacitive ; Pressure sensor ; CMOS

刊名：Sensors and Actuators A: Physical

出版年：2012

8.High speed quasi-monolithic silicon/piezostack SPM scanning stage

作者：E. Guliyev ; Th. Michels ; B.E. Voll ; Tzv. Ivanov ; M. Hofer ; I.W. Rangelow

关键词：Micromachining ; Nano-positioning ; Scanning force microscopy ; High-speed AFM

刊名：Microelectronic Engineering

出版年：2012

9.SiGe based grating light valves: A leap towards monolithic integration of MOEMS

作者：S. Rudra ; J. Roels ; G. Bryce ; L. Haspeslagh ; A. Witvrouw ; D. Van Thourhout

关键词：Optical MEMS ; SiGe ; Diffractive gratings

刊名：Microelectronic Engineering

出版年：2010

10.Static and dynamic characterization of pull-in protected CMOS compatible poly-SiGe grating light valves

作者：S. Rudra^a ; ^{sukumar.rudra@intec.ugent.be} ; J. De Coster^b ; R. Van Hoof^b ; G. Bryce^b ; S. Severi^b ; A. Witvrouw^b ; D. Van Thourhout^a

关键词：Grating ; Poly-SiGe ; Squeezed film damping

刊名：Sensors and Actuators A: Physical

出版年：2012

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