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1.
Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks
作者:
Gerhard Kalkowski
;
Thomas Peschel
;
Stefan Risse
;
S
;
ra Mü
;
ller
;
Roxann L. Engelstad
;
Jacob R. Zeuske
;
Pradeep
Vukkadala
关键词:
Electrostatic chuck
;
Lithography
;
EUVL
;
e-Beam
刊名:Microelectronic Engineering
出版年:2010
1
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2010年(1)
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