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4. Low energy selective etching of metal films in oxygen-containing high-density argon plasma
刊名:Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
出版年:2016
6. Effect of reactive ion etching on the surface of polymethylmethacrylate
刊名:Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
出版年:2015
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