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1.
射频磁控溅射
聚四氟乙烯靶制备的氟碳膜的力学特性
作者:
唐光泽孙明仁马欣新
关键词:
氟碳膜
;
硬度
;
射频磁控溅射
;
聚四氟乙烯
;
力学性能
会议时间:2004-04-09
2.
B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征
作者:
贾福超白亦真庄春强屈芳邢娇杨赵纪军姜辛
关键词:
BCN薄膜
;
傅立叶变换红外光谱
;
射频磁控溅射
;
石墨
;
六方氮化硼
会议时间:2008-11-01
3.
衬底温度对
射频磁控溅射
制备Ti-Ni合金薄膜的影响
作者:
曾光李子全周衡志董亚军
关键词:
原位加热
;
微观组织
;
力学性能
;
合金薄膜
;
频磁控溅射
会议时间:2007-11-20
4.
热处理工艺对(111)取向Pt薄膜物相与结构的影响
作者:
江民红顾正飞陈国华成钢申罡
关键词:
Pt薄膜
;
射频磁控溅射
;
热处理工艺
;
PrPt相
会议时间:2007-09-01
5.
溅射气压对BST薄膜光学性质的影响
作者:
王军华全白凌云
关键词:
磁控溅射
;
光学常数
;
光学性质
;
非晶态薄膜
会议时间:2009-10-24
6.
T10钢表面BN薄膜结合力改善及减摩性研究
作者:
高建昌邵红红吴强李宁华戟云
关键词:
射频磁控溅射
;
氮化硼薄膜
;
摩擦性能
;
T10碳素工具钢
;
金相显微镜
会议时间:2006-05-01
7.
ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响
作者:
杨瑾王明霞李德军
关键词:
射频磁控溅射
;
ZrN/WN纳米多层膜
;
调制比例
;
氮化物
;
弹性模量
;
多晶结构
会议时间:2006-08-01
8.
氮化铜薄膜的半导体特性
作者:
岳光辉王明旭渠冬梅闫鹏勋
关键词:
氮化铜薄膜
;
纳米薄膜
;
电阻率
;
四探针法
;
霍尔系数
;
反应
射频磁控溅射
法
会议时间:2006-08-01
9.
衬底同步加热溅射BST薄膜的研究
作者:
张龙林立强朱健卓敏
关键词:
同步衬底加热
;
射频磁控溅射
;
钛酸锶钡薄膜
;
居里温度
会议时间:2006-09-21
10.
溅射工艺参数对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜沉积速率和介电性能的影响
作者:
林明通肖田楼均辉陈晨曦陈国荣杨云霞
关键词:
射频磁控溅射
;
薄膜
;
沉积速率
;
介电常数
;
击穿场强
;
品质因子
会议时间:2005-07-14
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