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1.
电弧离子镀与
磁控溅射工艺
复合制备TiAlN薄膜的高温抗氧化试验研究
作者:
林小东宋绪丁傅高升
关键词:
抗氧化性能
;
中频磁控溅射
;
电弧离子镀
;
TiAlN薄膜
会议时间:2011-07-01
2.
电弧离子镀与
磁控溅射工艺
制备TiAIN膜层的技术进展
作者:
林小东傅高升宋绪丁
关键词:
电弧离子镀
;
磁控溅射工艺
;
TiN薄膜
;
TiAlN薄膜
;
膜层性能
会议时间:2008-07-01
3.
Nb掺杂对磁控溅射BiTi3-xNbxO12薄膜结构和性能的影响
作者:
王华黄小丹许积文杨玲李键
关键词:
铁电薄膜
;
介电性能
;
铁电性能
;
磁控溅射
会议时间:2009-10-24
4.
Cr12MoV钢表面磁控溅射CrMoN涂层性能研究
作者:
徐润翔施雯陈智勇陈雅萍
关键词:
铬锰钒冷作模具钢
;
铬钼氮涂层
;
磁控溅射工艺
;
摩擦磨损
会议时间:2008-05-04
5.
在移动NiW基带上制备钇系涂层导体隔离层的研究
作者:
刘慧舟杨坚张华古宏伟
关键词:
钇系涂层导体
;
连续沉积
;
电子束蒸发
;
磁控溅射
;
超导材料
会议时间:2007-10-19
6.
工艺参数对中频非平衡磁控溅射制备TiN膜性能的影响
作者:
吴宇峰马胜歌张德元张以忱耿漫周()
关键词:
中频溅射
;
磁控溅射
;
氮化钛
;
脉冲偏压
会议时间:2005-07-14
7.
非平衡磁控溅射制备二氧化钛薄膜研究
作者:
徐禄祥冷永祥黄楠
关键词:
非平衡磁控溅射
;
二氧化钛
;
显微硬度
;
结合力
;
摩擦系数
;
力学性能
;
薄膜材料
会议时间:2004-04-09
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