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条
1.
基于氮化铝的压电谐振式MEMS加度计研究
作者:
王一翔
关键词:
氮化铝
;
加速度计
;
谐振器
;
工艺流程
;
有限元仿真
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2017
2.
硼掺杂工艺对微
加速度计
性能的影响
作者:
李伦
关键词:
微
加速度计
;
硼掺杂
;
深反离子刻蚀
;
工艺误差
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
3.
窄脉冲冲击
加速度计
校准装置与动态模型参数辨识方法研究
作者:
孙彬
关键词:
加速度计
;
校准装置
;
参数辨识
;
窄脉冲冲击
授予学位:硕士
学位授予单位:北京化工大学
学位年度:2016
4.
封装粘接层空洞对微
加速度计
温漂的影响
作者:
赖柳山
关键词:
微
加速度计
;
温漂现象
;
粘接层空洞
;
生死单元
;
界面切应力
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
5.
基于电容边缘效应的叉指式微
加速度计
性能分析
作者:
蓝洪芳
关键词:
叉指式微
加速度计
;
电容边缘效应
;
静电刚度
;
非线性度
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
6.
高精度全数字式超低频石英挠性
加速度计
研制
作者:
姜宏蕾
关键词:
石英挠性
加速度计
;
机械结构
;
优化设计
;
伺服回路
;
数字控制器
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
7.
基于振动分析的石英挠性
加速度计
辨识研究
作者:
孙飞
关键词:
加速度计
;
振动测试
;
高阶误差
;
系数辨识
;
特征提取
授予学位:硕士
学位授予单位:西南科技大学
学位年度:2016
8.
三轴
加速度计
标定台的研究
作者:
张俊
关键词:
三轴
加速度计
;
标定台
;
传感器
;
机械解耦结构
;
应力应变
;
安装误差
授予学位:硕士
学位授予单位:太原理工大学
学位年度:2016
9.
低谐波失真多位ΣΔ
加速度计
接口电路设计
作者:
陶思岐
关键词:
电容式
加速度计
;
接口电路
;
调制器
;
低谐波失真
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
10.
石英振梁
加速度计
性能标定及误差补偿技术研究
作者:
廖波勇
关键词:
石英振梁
加速度计
;
性能标定
;
等效模型
;
误差补偿
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
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