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条
1.
在线光学传递函数检测及其精密定位控制的研究
作者:
王彩平
关键词:
光学系统成像技术
;
传递函数检测
;
精密定位检测技术
;
光栅尺闭环反馈控制
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2016
2.
适用于三维精密测量的气浮平台结构设计与静动态特性分析
作者:
廖明易
关键词:
三维精密测量
;
气浮平台
;
运动精度
;
静态特性
;
动态特性
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2016
3.
二维精密气浮运动平台多参数控制与轨迹精度研究
作者:
朱小刚
关键词:
精密气浮运动平台
;
运动性能
;
直线驱动系统
;
静压气浮导轨
;
机械特性
;
负载扰动
;
轨迹精度
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2016
4.
大口径反射镜抓取工装研制与洁净精密装配实验
作者:
裴国庆
关键词:
大口径反射镜
;
抓取工装
;
装配工艺
;
洁净性能
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
5.
异形电子元件自动插件机设计及其关键技术研究
作者:
李卫
关键词:
异形电子元件
;
自动插件机
;
结构设计
;
模态分析
授予学位:硕士
学位授予单位:山东大学
学位年度:2015
6.
步进扫描光刻机关键微位移机构的研发
作者:
李维佳
关键词:
光刻机
;
微位移机构
;
柔性铰链
;
纳米级精度
授予学位:硕士
学位授予单位:东华大学
学位年度:2015
7.
基于行星差动滚柱丝杠原理的微位移机构研究
作者:
郭显鹏
关键词:
微位移机构
;
行星差动滚柱丝杠
;
精密定位技术
;
优化设计
授予学位:硕士
学位授予单位:江苏大学
学位年度:2015
8.
工业机器人精度评估与误差补偿研究
作者:
喻敏
关键词:
工业机器人
;
精度评估
;
参数辨识
;
误差补偿
;
位置测量
授予学位:硕士
学位授予单位:南京航空航天大学
学位年度:2015
9.
电解扩孔加工装置设计与试验研究
作者:
张京超
关键词:
电解扩孔加工
;
细长杆结构
;
PLC控制
;
二位四通电磁阀
授予学位:硕士
学位授予单位:大连理工大学
学位年度:2015
10.
基于柔性铰链的并联机构性能研究与优化设计
作者:
廖安志
关键词:
机械工程
;
并联机构
;
刚度性能
;
精度性能
;
优化设计
;
柔性铰链
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2015
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