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1.基于MEMS技术悬臂梁阵列式脉搏传感器研究
作者：陈静
授予学位：硕士
学位授予单位：黑龙江大学
学位年度：2016
2.基于动力学建模与MEMS技术的起重机制动下滑量检测系统研制
作者：王鹏飞
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2016
3.利用MEMS惯性冲击器进行安全壳内气溶胶过滤的机理研究
作者：齐厚博
授予学位：硕士
学位授予单位：华北电力大学(北京)
学位年度：2016
4.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
作者：王涛龙
授予学位：硕士
学位授予单位：中北大学
学位年度：2016
5.形变强化T2紫铜微型平面弹簧精密蚀刻技术研究
作者：陈飞
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
6.基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究
作者：刘修振
授予学位：硕士
学位授予单位：太原理工大学
学位年度：2016
7.智能气象站的数据采集与通信系统设计
作者：潘龙龙
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2016
8.电容式微加速度计的热稳定性研究
作者：何江波
授予学位：博士
学位授予单位：西南交通大学
学位年度：2016
9.基于MEMS传感器的老人跌倒状态检测系统研究与设计
作者：杨泽松
授予学位：硕士
学位授予单位：湖南大学
学位年度：2016
10.基于MEMS技术的吊钩运动姿态传感器研究
作者：王立超
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2014
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