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条
1.
多功能微机械陀螺及其应用
作者:
严庆文
关键词:
微机械陀螺
;
多功能
;
圆锥运动
;
单通道控制
;
多通道控制
论文级别:
博士
学位年度:2012
2.
双级解耦
微机械陀螺的结构设计及特性研究
作者:
屈玉丰
关键词:
微机械陀螺
;
双级解耦
;
有限元
;
疲劳
;
模态
;
瞬态
论文级别:
硕士
学位年度:2008
3.
三框架硅微机械陀螺的结构设计及加工工艺研究
作者:
郭慧芳
关键词:
微机电系统(MEMS)
;
电容
;
陀螺仪
;
解耦
;
工艺
论文级别:
硕士
学位年度:2008
4.
音叉振动式微机械陀螺结构动态性能解析与健壮性设计
作者:
张正福
关键词:
微结构
;
微机械陀螺
;
检测电容
;
动态性能
;
子结构方法
;
灵敏度分析
;
健壮性设计
;
田口方法
论文级别:
博士
学位年度:2007
5.
仿生蜘蛛振动感知的硅微加速度传感器研究
作者:
汪延成
关键词:
蜘蛛
;
琴形器
;
振动感知
;
仿生学
;
MEMS
;
硅微加速度传感器
;
孔缝-微悬臂梁
;
灵敏度
论文级别:
博士
学位年度:2010
6.
全对称
双级解耦
微机械振动式陀螺研究
作者:
陈宏
关键词:
微机械陀螺
;
全对称结构
;
双级解耦
;
滑膜阻尼
论文级别:
博士
学位年度:2008
7.
振动式微机械陀螺系统噪声分析及低噪声电路设计
作者:
田野
关键词:
微陀螺系统
;
接口电路
;
噪声分析
;
低噪声设计
论文级别:
硕士
学位年度:2009
8.
新型
双级解耦
微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究
作者:
梁青松
关键词:
微机械陀螺
;
有限元
;
电场
;
耦合
;
瞬态
论文级别:
硕士
学位年度:2009
9.
双解耦双自由度微机械陀螺的设计与仿真
作者:
王浩
关键词:
微机械陀螺
;
双自由度
;
解耦
;
模型仿真
论文级别:
硕士
学位年度:2007
10.
Z轴微机械陀螺的集成设计技术
作者:
谢建兵
关键词:
Z轴微机械陀螺
;
集成设计
;
机械耦合
;
系统级
;
器件级
;
工艺级
论文级别:
硕士
学位年度:2006
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2009年(2)
2010年(3)
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