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6.CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究
作者：方雪冰
关键词：磁控溅射 ; 磁场 ; 利用率靶
论文级别：硕士
学位年度：2010
7.磁控溅射制备B-C-N薄膜及其表征
作者：王健
论文级别：硕士
学位年度：2011
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