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CNKI学位论文
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条
1.
基于双压电驱动宏微结合的纳米定位台研究
作者:
朱玉龙
关键词:
双压电驱动
;
宏微结合
;
柔性铰链
;
微纳米定位
论文级别:
硕士
学位年度:2013
2.
具有大进给力的纳米级热驱动部件研究
作者:
胡旭晓
关键词:
超精密加工
;
驱动部件
;
数学模型
;
平稳过渡
;
惩罚函数
;
多模态控制
;
改进型滑模变结构控制
论文级别:
博士
学位年度:2007
3.
激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究
作者:
刘超
关键词:
MOEMS
;
微驱动技术
;
光热膨胀效应
;
线性变形体系
;
热学模型
;
结构力学模型
;
虚功原理
;
光热驱动控制
;
CCD显微观测
;
准分子激光微加工
;
微型光热驱动机构
;
光热微驱动器
;
光热微动台
;
光热驱动马达
;
光热偏转
;
光热运动
;
静态和动态响应
论文级别:
博士
学位年度:2010
4.
尺蠖式压电步进进针机构的研究
作者:
肖文兰
关键词:
STM
;
进针机构
;
压电陶瓷
;
尺蠖式步进器
;
柔性铰链
论文级别:
硕士
学位年度:2012
5.
基于图像传感器的
微纳米定位
方法研究
作者:
修国威
关键词:
纳米定位
;
四光束干涉
;
亚像素
;
图像处理
论文级别:
硕士
学位年度:2011
6.
多尺度微/纳米定位系统的设计、分析及试验研究
作者:
俞松松
关键词:
压电陶瓷驱动器(PZT)
;
微/纳米定位系统
;
静、动态特性分析
;
试验研究
论文级别:
硕士
学位年度:2011
7.
基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究
作者:
王希花
关键词:
压电陶瓷
;
迟滞特性
;
非线性
;
Smith预估器
;
LMI
论文级别:
博士
学位年度:2010
8.
数字化量可控自动注射仪的试验研究
作者:
邢学松
关键词:
数字化
;
压电效应
;
堆栈式PZT压电陶瓷驱动器
;
急速变形
;
重力预载
;
流量测量
;
微位移测量
论文级别:
硕士
学位年度:2004
9.
MEMS引信安全系统的微驱动器研究
作者:
毕珊
关键词:
微驱动器
;
MEMS
;
引信
;
安全系统
;
电磁场分析
论文级别:
硕士
学位年度:2008
10.
面向微位移传感器的环形谐振腔设计、加工及特性研究
作者:
吉喆
关键词:
微位移传感器
;
环形谐振腔
;
品质因数
;
高灵敏传感
论文级别:
硕士
学位年度:2010
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2
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