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CNKI学位论文(4)
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中图分类法(4)
数理科学和化学(2)
工业技术(4)
在“
CNKI学位论文
”中,
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4
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在所有数据库中总计命中:
19
条
1.
点衍射干涉仪基准波前质量测评研究
作者:
邵晶
关键词:
极紫外光刻
;
点衍射干涉仪
;
基准波前
;
光学检测
;
相位复原
论文级别:
博士
学位年度:2013
2.
相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究
作者:
卢增雄
关键词:
极紫外光刻
;
点衍射干涉仪
;
矢量瑞利-索末菲衍射积分公式
;
时域有限差分法
;
微孔衍射
;
微孔圆度
;
衍射参考波前质量
;
杨氏双孔干涉实验
论文级别:
博士
学位年度:2013
3.
极紫外光刻
物镜系统波像差
检测技术研究
作者:
张宇
关键词:
极紫外光刻
;
物镜系统波像差
;
相位提取
;
误差源
;
相位解包裹
;
波前参考源
;
检测精度
;
波面重复精度
论文级别:
博士
学位年度:2012
4.
基于移相掩模标记的光刻机投影物镜
波像差
检测方法研究
作者:
战崇华
关键词:
波像差
;
光刻机投影
物镜系统
;
移相掩模
;
相位轮
论文级别:
硕士
学位年度:2009
1
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