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条
1.
微纳光纤直写技术研究
作者:
田丰
关键词:
微纳制造
;
亚微米线条
;
直接写入
;
微纳光纤
;
微触模式
;
高分辨率
论文级别:
博士
学位年度:2010
2.
浸没式光刻中浸液控制单元的液体供给及密封研究
作者:
陈文昱
关键词:
浸没式光刻
;
浸液控制单元
;
非接触式密封
;
气密封
;
临界速度
论文级别:
博士
学位年度:2010
3.
10纳米以下图形电子束曝光的研究
作者:
段辉高
关键词:
高分辨电子束曝光
;
纳米加工
;
石墨烯
;
毛细力自组装
论文级别:
博士
学位年度:2010
4.
纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究
作者:
刘珠明
关键词:
电子束曝光
;
纳米级聚焦偏转系统
;
高级像差
论文级别:
博士
学位年度:2005
5.
纳米结构制备和硅单电子晶体管的研究
作者:
卢刚
关键词:
纳米结构
;
单电子晶体管
;
库仑阻塞
;
单电子隧穿
;
电子束光刻
论文级别:
博士
学位年度:2003
6.
纳米球刻印法制备新型金属纳米结构及其光学性质研究
作者:
曹志申
论文级别:
博士
学位年度:2011
7.
利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作
作者:
盛斌
关键词:
闪耀光栅
;
真空紫外
;
掩模
;
单晶硅
;
湿法各向异性刻蚀
论文级别:
博士
学位年度:2009
8.
自旋转移矩效应驱动磁性纳米结构的磁化动力学研究
作者:
牟从普
关键词:
自旋转移矩
;
磁性随机存储器
;
微波辅助
;
Seebeck效应
;
微磁学
论文级别:
博士
学位年度:2013
9.
金属局域表面等离子体增强半导体近紫外发光的研究
作者:
林颖
关键词:
局域表面等离子体
;
ZnO
;
紫外多量子阱
;
Al纳米颗粒
;
Pt纳米颗粒
论文级别:
博士
学位年度:2013
10.
微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究
作者:
赵双双
关键词:
微光学集成
;
光栅干涉
;
三明治式传感结构
;
加速度传感器
;
微光机电系统MOEMS
;
相位调制-解调
论文级别:
博士
学位年度:2013
1
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