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CNKI学位论文(4)
中图分类法(4)
工业技术(4)
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CNKI学位论文
”中,
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条
1.
核壳结构SiO_2/CeO_2、PS/CeO_2复合微球的可控合成及其CMP性能研究
作者:
陈杨
关键词:
核壳结构
;
SiO_2/CeO_2复合微球
;
PS/CeO_2复合微球
;
化学机械抛光
论文级别:
博士
学位年度:2012
2.
单晶MgO基片化学机械抛光机理与工艺研究
作者:
王科
关键词:
单晶MgO
;
基片
;
化学机械抛光
;
材料去除率
;
表面缺陷
论文级别:
博士
学位年度:2010
3.
Al_2O_3陶瓷化学机械磨削用磨具的研制及性能研究
作者:
陶占春
关键词:
Al_2O_3陶瓷
;
SiO_2磨料
;
化学机械磨削
;
磨具
论文级别:
硕士
学位年度:2010
4.
单晶MgO基片抛光工艺的实验研究
作者:
王科
关键词:
单晶MgO
;
抛光
;
表面粗糙度
;
材料去除率
;
翘曲变形
论文级别:
硕士
学位年度:2006
1
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