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条
1.
电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究
作者:
宋会英
关键词:
电子束光刻
;
Monte
;
Carlo模拟
;
电子散射
;
邻近效应
;
能量沉积
论文级别:
博士
学位年度:2006
2.
电子束光刻的三维加工和邻近效应校正技术研究
作者:
郝慧娟
关键词:
电子束曝光
;
重复增量扫描
;
能量沉积
;
邻近效应校正
;
显影模拟
论文级别:
博士
学位年度:2007
3.
基于PLC与组态王的空间材料二次电子发射特性智能测试系统研究
作者:
陈达新
关键词:
空间材料
;
二次电子发射
;
PLC
;
组态王
;
智能测试控制
论文级别:
硕士
学位年度:2010
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